1)混床离子交换纯化柱:混床离子交换纯化柱由阴离子交换树脂和阳离子交换树脂按比例混合而成。阳离子交换树脂用其H＋交换去除水中的阳离子，阴离子交换树脂用其OH－交换去除水中的阴离子，在混床树脂中被交换出来的H＋和OH－结合生成H2O，因此混床离子交换纯化柱可用来深度去除RO纯水中尚存的微量离子。小型实验室超纯水机中的混床离子交换纯化柱通常为一次性使用。

2)EDI装置:连续电去离子EDI（Electrodeionization的缩写），是利用混床离子交换树脂吸附给水中的阴阳离子，同时这些被吸附的离子又在直流电压的作用下分别透过阴阳离子交换膜而被连续去除的过程。这一新技术可以代替传统的离子交换（DI），产出10MΩ.cm以上的超纯水。EDI深度除盐的zui大优点是可长期稳定运行，无需用酸碱再生阴阳树脂，十分适合造水量100L/h以上的超纯水中央制备系统，水质稳定，并将大大降低运行成本，TOC也将更低更稳定。

3)除热源超滤膜:超滤除热源已广泛用于现代制药行业。超滤（Ultrafiltration，缩写“UF”）膜的孔径介于反渗透和微滤之间（约0.01～0.1μm），通常用zui小截留分子量来表示。

4)紫外线灯与TOC紫外消解器：紫外线灯采用254nm波长的紫外线照射，可有效破坏微生物的DNA分子，使之形成TT两聚体而无法繁殖，是空气、水安全有效的常用方法。TOC紫外消解器采用可同时产生185nm/254nm双波长的紫外线灯管，其中185nm紫外线在空气中可产生臭氧而除味，在水中会产生氢氧自由基，可将纯水中微量有机物迅速氧化为CO2，达到去除TOC的目的。

5)终端过滤器：孔径0.22um的终端过滤器可彻底滤除细菌、真菌及孢子、树脂碎片及一切微米级污染物。终端过滤器形式有中空纤维式、PP桶过滤器、囊式过滤器、针头式滤器等，膜材质有聚丙烯、尼龙、聚偏氟乙烯等。