超纯水机长期停机维护措施的具体步骤如下：
1、首先要清洗超纯水机反渗透系统中的膜元件；
2、用反渗透产出的水质配制液，并用液冲洗超纯水机反渗透系统；
3、用液充满反渗透系统后，关闭相关阀门使液保留于系统中，此时应确认超纯水机系统完全充满；
4、如果超纯水机系统温度低于27℃，应每隔一个月用新的液进行前两个步骤，如果系统温度高于27℃，则应每隔半个月更换一次液；
5、在单级反渗透超纯水机系统重新投入使用前，用低压给水冲洗系统一小时，然后再用高压给水冲洗系统5分钟，无论低压冲洗还是高压冲洗时，超纯水机系统的产水排放阀均应全部打开。在恢复系统正常操作之前，要检查并确认超纯水机的水中不含任何剂。